Pembuatan Semikonduktor dan Elektronik

Keperluan vakum dalam pembuatan elektronik kebanyakannya berselang-seli, jangka pendek dan bersih: menyedut dan memindahkan wafer serta substrat, stesen pemasangan cip dan ikatan mengekalkan kedudukan komponen, stesen pemeriksaan dan pembersihan menyedut keluar serpihan dan bahan meruap. Keperluan bersama bagi keadaan kerja sebegini ialah udara ekzos tanpa kabus minyak, mula-henti yang kerap, dan saiz kecil yang memudahkan pemasangan di dalam peralatan.

Pam bilah berputar tanpa minyak tidak menghasilkan kabus minyak di sisi ekzos, dengan sambungan paip dan penyelenggaraan yang mudah, sesuai sebagai sumber vakum sokongan untuk peralatan sebegini. Semasa memilih, perkara utama yang perlu disahkan: tahap vakum kerja yang diperlukan (pemegangan biasanya di bawah 80 kPa), aliran serta-merta yang ditentukan oleh luas sedutan dan berat bahan kerja, serta bilangan mula-henti seminit.

Jika stesen sensitif terhadap zarah, disyorkan memasang elemen penapis di sisi masuk dan menggantikannya secara berkala; jika gas yang disedut mengandungi bahan meruap fluks, pemisahan kondensat perlu disediakan sebelum pam.

Perlu bantuan pemilihan model atau sebut harga?

Sila berikan keperluan kelajuan pengepaman, vakum muktamad, jenis gas, keadaan habuk dan kakisan, mod operasi serta bekalan kuasa; kami akan mencadangkan model berdasarkan keadaan operasi.

Hubungi kami