Hasil pengeluaran dan keseragaman lapisan talian salutan banyak bergantung pada bahagian pengepaman. Untuk ruang dan kelompok bahan kerja yang sama, syif pagi mengambil masa 6 minit dari tekanan atmosfera hingga tekanan serah, manakala relau yang sama pada sebelah petang mengambil masa 8 setengah minit; ruang tidak ditukar, pam tidak melaporkan kerosakan, tetapi kitaran tetap tidak stabil. Keadaan ‘semakin dipam semakin perlahan’ ini kebanyakannya bukan kerana pam rosak, tetapi kadar pengepaman berkesan menurun pada bahagian pertengahan.
Sistem vakum salutan vakum (PVD) sensitif terhadap turun naik kadar pengepaman kerana ia dikejar oleh tiga perkara serentak: kitaran (pra-pengepaman lambat satu minit, setiap relau lambat satu minit), latar (tekanan sebelum masuk proses tidak mencukupi, pelekatan dan keseragaman lapisan ikut terpesong), tekanan gas proses (peringkat sputtering bergantung pada injap pendikit dan kadar aliran gas untuk mengekalkan tekanan kerja sekitar 10⁻³～10⁻² mbar; apabila peringkat hadapan lemah, berapa pun injap pendikit dilaras tidak dapat menampung semula). Oleh itu, pemilihan tidak boleh hanya melihat satu angka kadar pengepaman pada papan nama, tetapi perlu mengikut empat langkah: ‘senarai keadaan operasi → pengiraan pra-pengepaman → pengiraan peringkat pengekalan → konfigurasi set pam’.
一、Senaraikan keadaan operasi dahulu, jangan tergesa-gesa melihat model
Keperluan vakum talian salutan kelihatan sama, iaitu ‘mengepam ke vakum tinggi’, tetapi perbezaan sebenar semuanya ada dalam jadual ini. Sebelum berbincang tentang pemilihan, isi lapan perkara di bawah dengan jelas; jika lebih dua daripada lapan perkara dibiarkan kosong, konfigurasi yang dipilih pada asasnya adalah tekaan.
| Perkara keadaan operasi | Apa yang perlu diisi | Mengapa ia terus mempengaruhi kadar pengepaman |
|---|---|---|
| Isipadu ruang | Isipadu bersih ruang kosong, termasuk perkakasan pemegang dan ruang bahan kerja | Masa pengepaman berkadar terus dengan isipadu; jika isipadu dikira separuh lebih kecil, masa juga dikira separuh lebih pendek |
| Masa pra-pengepaman setiap kelompok | Saat yang dibenarkan oleh proses dari tekanan atmosfera hingga tekanan serah | Penunjuk tegar kitaran, digunakan secara songsang untuk mendapatkan kadar pengepaman berkesan minimum yang diperlukan |
| Tekanan serah | Titik tekanan apabila pam mekanikal menyerahkan tugas kepada pam vakum tinggi | Biasanya sekitar 5～20 mbar; semakin rendah titik tekanan, semakin besar keperluan kadar pengepaman |
| Tekanan kerja proses | Tekanan yang dikekalkan pada peringkat sputtering dan jenis gas | Menentukan beban gas peringkat pengekalan, berbeza daripada akaun peringkat pra-pengepaman |
| Kadar aliran gas proses | Nilai sccm gas kerja seperti argon | Terus ditukar kepada beban aliran Q, untuk menyemak sama ada pam peringkat hadapan mencukupi di bawah tekanan balik |
| Medium yang dipam | Debu, wap air, wap pelarut, bahan meruap daripada sasaran | Menentukan sama ada penapis sebelum pam, pemeluwap dan balast gas diperlukan |
| Faktor penggunaan serentak | Berapa banyak ruang berkongsi satu set pam, tahap penggiliran waktu | Semasa perkongsian pam, puncak bertambah dan kadar pengepaman berkesan yang tersedia diagihkan |
| Keadaan paip | Jarak dari bilik pam ke ruang, diameter laluan, bilangan siku dan injap | Rintangan aliran paip ialah diskaun tersembunyi yang besar terhadap kadar pengepaman berkesan |
二、Peringkat pra-pengepaman: bagaimana masa pengepaman dikira
Peringkat vakum kasar menggunakan hampiran isoterma, masa pengepaman:
t = (V / S) · ln(p₁ / p₂)
V ialah isipadu ruang, S ialah kadar pengepaman berkes
Bacaan berkaitan
- Pemilihan pam vakum untuk talian pembungkusan vakum makanan: V0040A dan lain-lain dikira berdasarkan empat item iaitu tahap vakum, kelajuan sedutan, medium dan mod operasi
- Pemilihan pam vakum ram gelangsar berkedap minyak DPL-V0100: semakan medium boleh terkondensasi, habuk dan menghakis
- Pemilihan pam vakum 200–700 m³/h: padanan diameter port dan kuasa
- Products
- Kalkulator Pemilihan Pam Vakum: Penukaran Masa Pengepaman dan Kelajuan Pengepaman
- Soalan Lazim Pam Vakum: Pemilihan, Penyelenggaraan dan Sebut Harga