这里发布产品信息与真空泵使用、选型方面的技术笔记。
内容来自我们的实际工程经验与已发布的产品参数,不引用无法核实的数据。有想了解的主题,可以联系我们。
产品信息与真空泵技术笔记
这里发布产品信息与真空泵使用、选型方面的技术笔记。
内容来自我们的实际工程经验与已发布的产品参数,不引用无法核实的数据。有想了解的主题,可以联系我们。
油封旋片泵抽含可凝性气体时开气镇,代价是极限真空变差;按 V0630B、V0040A–V0100、2V80 的实测数据说明三档用法与开合时机。
无油旋片泵进气过滤、散热与旋片磨损检查,是无油泵维护的三件事。
选型与配套按洁净要求、维护条件与工况介质三个维度判断。
使用与维护过滤精度、安装位置与更换周期,决定泵腔寿命。
选型与配套抽速、真空度、介质、运行方式、电源、安装空间,缺一项都可能选错。
无油旋片泵排气不带油、维护集中在过滤与易损件,以及不适用的场合。
无油旋片泵转子、旋片与排气阀如何形成吸力,以及磨损后先表现出来的是什么。
使用与维护安装位置、管路与排气条件,首次运行的核对清单与排查顺序。
选型与配套管径按流量定,管路越短越好,阀门通径不要小于泵口。
使用与维护减振安装、软管隔振、排气消音,噪声指标要按机型核对。
罗茨与真空系统要更快抽除大量气体或需要在较低压力下维持流量时,才用罗茨泵做增压级。
罗茨与真空系统镀膜车间的泵房大多离腔体有一段距离。三台镀膜腔共用一个泵组,装片、抽真空、镀膜、破空、卸片,一个循环走完,操作工感受很直接的是节拍:早班那炉从常压抽到交接压力用 6 分钟,下午同一炉要 8 分半。腔体没换、泵也没报故障,参数就是稳不住。