被抽气体带粉尘时，进气过滤是保障泵腔寿命的首要环节。没有过滤或过滤失效，粉尘会直接进入泵腔，加速旋片与缸壁磨损，表现为抽速下降与噪音升高。
过滤器的安装位置应尽量靠近进气口，减少泵前积尘管段；精度的选择按粉尘粒径和允许通过量确定，过细会显著增加阻力并降低有效抽速，过粗则起不到保护作用。建议同时考虑一级粗滤加一级精滤的组合，粗滤可清洗复用、精滤按周期更换。
更换周期的判断依据是压差而不是固定天数：在过滤器前后接压差计，压差上升到初始值的一定倍数时更换。粉体输送与称量工位应缩短检查间隔。
另外，粉尘工况建议缩短每日巡检间隔，并记录抽速与真空度变化趋势，作为维护决策依据。