无油旋片泵不使用真空泵油，维护的重点因此从换油变成了进气、散热和旋片磨损三件事。
进气过滤要按工况定更换周期：洁净车间可以按运行小时数更换，粉体或纤维环境必须缩短周期并定期检查滤芯是否破损。滤芯堵塞会直接降低有效抽速，表现为抽气变慢、真空度上不去。
散热方面，泵体周围留出不小于 10 cm 的通风空间，避免装在密闭箱体内长时间运行；环境温度高时适当降低使用真空度。旋片是易损件，出现抽速下降、噪音变大或震动加剧时，应停机检查旋片与泵腔的磨损情况并更换。
每日开机前检查管路与接头是否漏气，每季度检查电气接线与接地。