真空泵气密性不是装配时拧紧螺栓就能拿到的东西。同一张图纸，浇注温度差几十度、时效少做一次、密封面平面度超几个微米，最后都表现为同一个现象：泵抽到某个压力就停住，或者抽气时间比样机长一截。泵体是这条链的起点，气密性在铸造和机加工两道工序里就已经定型，装配只是把它暴露出来。
先把两个指标分开：抽得快，和抽得到底
泵体漏气，用户看到的是两个不同的症状，算法也不一样。
抽气时间按 t = (V / S) × ln(p0 / p1) 估算。以 DPL-2V18 为例，额定抽速 17 m³/h 折合 4.72 L/s，一个 8 L 的腔体从 1013 mbar 抽到 1 mbar：t = (8 / 4.72) × ln(1013 / 1) ≈ 11.7 s。这个数只跟容积和抽速有关，泵体漏不漏，前段抽气速度差别不大。
极限压力是另一回事：p = Q / S，Q 是进入腔体的总气体负载（漏气 + 材料出气 + 工艺放气），S 是有效抽速。DPL-2V18 标注极限压力 1×10⁻³ mbar，反推允许的负载 Q = 1×10⁻³ × 4.72 ≈ 4.7×10⁻³ mbar·L/s。漏率一旦超过这条线，泵本身再好也到不了标称极限压力。所以真空泵气密性的判据不是"肉眼看着不漏"，是这条 Q 的线。
铸造阶段：气孔与缩松不会在精加工时自己消失
站上在产的旋片泵与罗茨泵，材质标注为铸铁 / 铸铝。灰铸铁件按 GB/T 9439-2010《灰铸铁件》验收抗拉强度、硬度与金相组织；石墨形态和基体致密度直接决定铸件加工后的表面质量与承压能力。壁厚差大的泵体最容易在厚壁与薄壁交界处出缩松。
渗透探伤（GB/T 18851.1）只能检出开口到表面的缺陷；内部气孔、缩松、夹渣要靠 X 射线或工业 CT，铝合金铸件射线检测常引用 GB/T 11346。这两类缺陷处理方式完全不同：开口的可以补，内部的补不了。
真空压力浸渗经常被当成"补救工序"，但它只对连通性孔隙有效，对封闭气孔、夹渣、冷隔无效。浸渗前必须先做孔隙连通性判断，浸渗后按漏率复测，否则打压时照样漏——这是产线上返工量偏高的常见来源。
机加工阶段：密封面平面度比粗糙度更决定成败
泵体与端盖的贴合面，决定的是垫片或 O 形圈能不能均匀压缩。平面度按 GB/T 1958-2017《产品几何技术规范（GPS）几何公差 检测与验证》用三坐标网格点扫描评定。
行业检测口径里，平面度是密封性的主导因素，粗糙度只影响微观贴合：垫片压缩量能吃掉微观波峰，吃不掉整体的翘曲。平面度超差时，螺栓预紧力再大也无法让垫片均匀塑性变形，局部间隙会在负压下形成贯通漏道。
翘曲的根源多半在内应力。铸件落砂后不做时效，或者厚壁件只做一次时效，粗加工切掉一层金属后应力重新分布，精加工完的密封面会在几周内缓慢变形。规范做法是铸造后时效一次、粗加工后再补一次。铸铁内应力释放慢，铸铝对加工应力更敏感，两者的时效节拍不能共用一套参数。
装配前的压升法预筛：一条能算的判据
压升法测的是关闭阀门后压力随时间的变化，漏率按 Q = V × (Δp / Δt) 计算，V 用 L、Δp 用 mbar、Δt 用 s，得到 mbar·L/s。温度波动较大时要修正，静态压升法的修正公式为 Q = V × {[p2 × (T1 / T2)] − p1} / (t2 − t1)（国家磨料磨具质量检验检测中心公开的方法说明）。
算例：装配后的泵体封闭腔 V = 8 L，关阀静置 300 s，压力从起始值上升 0.40 mbar。
- 实测漏率 Q = 8 × 0.40 / 300 = 1.07×10⁻² mbar·L/s；
- 对 DPL-2V18，允许值 4.7×10⁻³ mbar·L/s，实测是允许值的 2.3 倍；
- 按 p = Q / S 推算，这台泵的极限压力会停在约 2.3×10⁻³ mbar，到不了规格的 1×10⁻³ mbar。
反过来就能定车间判据：8 L 腔体、300 s 内压升不超过 Q允许 × Δt / V = 4.7×10⁻³ × 300 / 8 ≈ 0.18 mbar，才算通过预筛。
同一条判据不能套到大泵上。DPL-V630B 抽速 640 m³/h（50Hz），折合 177.8 L/s，关气镇极限压力 ≤8×10⁻² mbar，允许负载 0.08 × 177.8 ≈ 14.2 mbar·L/s；同样 8 L、300 s，允许压升是 533 mbar，这个数已经失去筛查意义。大泵不做压升判定，直接进氦检定量。
还要区分漏气与出气。同样 Δp 所需的 Δt 一轮比一轮长，说明是壁面出气在衰减；Δt 基本不变才是真漏。测前烘干、用干燥气体吹扫、规管前加冷阱，都是为了压住水汽这条干扰源。
氦检定量：灵敏度差三到四个数量级
压升法的整体灵敏度大致在 10⁻⁴ ~ 10⁻⁶ Pa·m³/s，氦质谱吸枪法可到 1×10⁻⁸ Pa·m³/s 量级，真空模式可到 10⁻¹² Pa·m³/s 量级。中科院上海光机所公开的检漏仪指标是：真空模式 5×10⁻¹³ Pa·m³/s，吸枪模式 1×10⁻⁸ Pa·m³/s。
单位换算记住一条：1 mbar·L/s = 0.1 Pa·m³/s。所以 1×10⁻⁸ Pa·m³/s 相当于 1×10⁻⁷ mbar·L/s，比压升法的常规灵敏度低两到三个数量级。
方法上，喷氦法执行 ISO 20486，真空累积法执行 GB/T 32218-2015。分工建议：装配后预筛用压升法，成本低、可以全检；成品出厂与争议判定用氦检，给出以 Pa·m³/s 或 mbar·L/s 计的实测值，写进检验记录。
五步连起来看，哪一步都省不掉
铸造（致密度 + 探伤）→ 时效（释放内应力）→ 精加工（密封面平面度）→ 装配前压升（全检筛查）→ 出厂氦检（定量判定）。
这条链上被省掉的那一步，不会消失，只会以返工或售后形式回来。用户侧的对应动作也简单：接到泵先按 选型计算器 核一遍抽气时间与抽速是否匹配，再按 常见问题 里的排查顺序确认是漏气、堵塞还是抽速不足；需要更低极限压力的场合（真空镀膜、真空热处理），前级泵的泵体气密性直接决定主泵能不能上到工作压力。具体机型的极限压力与接口参数见 DPL-2V18 与 DPL-V630B；腔体全程无油的 DPL-ZS150 更要注意，泵体上的贯通孔隙等于直接把工艺侧和大气连起来。