单级无油旋片泵的核心部件是偏心装在缸体内的转子、在转子槽内滑动的一组旋片，以及进气与排气通道。
转子转动时，旋片在离心力作用下贴住缸壁滑动，把进气腔与排气腔隔开；进气腔容积逐渐增大形成吸力，气体被吸入后随容积减小被压缩，由排气阀排出。整个过程在一个旋转周期内完成，因此单级结构适合粗真空段与吸附类工况。
不用油怎么实现密封：靠旋片材料自身的润滑性，以及端面间隙与阀片的设计。所以这类泵的实际抽速与极限真空取决于结构间隙与阀片状态。磨损后先表现出来的通常是抽速下降、噪音升高与温升变大，而不是突然失效。
维护要点：进气过滤是泵腔的首道保护，过滤失效会让粉尘直接进入泵腔，加速旋片与缸壁磨损。旋片与阀片属易损件，更换周期按实际使用条件（介质、运行时长、粉尘情况）确定，不宜按固定时间强行更换。