镀膜线的产能和膜层一致性，很大一部分压在抽气这一段上。同一台腔体、同一批工件，早班从常压抽到交接压力用 6 分钟，下午同一炉要用 8 分半；腔体没换、泵也没报故障，节拍就是稳不住。这种「越抽越慢」多数不是泵坏了，而是有效抽速在中段掉了。
真空镀膜（PVD）真空系统之所以怕抽速波动，是因为它同时被三件事追着：节拍（预抽慢一分钟，每炉都慢一分钟）、本底（进工艺前的压力不到位，膜层附着与均匀性跟着漂）、工艺气压（溅射段靠节流阀和气体流量维持 10⁻³～10⁻² mbar 量级的工作气压，前级一虚，节流阀再怎么调也补不回来）。所以选型不能只看铭牌上的一个抽速数字，要按「工况清单 → 预抽核算 → 维持段核算 → 泵组配置」四步走。
一、先列工况清单，别急着看型号
镀膜线的真空需求看着都是「抽到高真空」，实际差别全在这张表里。谈选型前把下面八项填清楚，八项里空两项以上，选出来的配置基本靠猜。
| 工况项 | 要填什么 | 为什么直接影响抽速 |
|---|---|---|
| 腔体容积 | 空腔净容积，含装夹与工件占位 | 抽气时间与容积成正比，容积算小一半，时间就少算一半 |
| 每批预抽时间 | 工艺允许的从常压到交接压力的秒数 | 节拍的硬指标，反推出需要的最小有效抽速 |
| 交接压力 | 机械泵交班给高真空泵的压力点 | 常见 5～20 mbar 量级，压力点越低越吃抽速 |
| 工艺工作气压 | 溅射段维持的压力与气体种类 | 决定维持段的气体负载，与预抽段是两笔账 |
| 工艺气体流量 | 氩气等工作气体的 sccm 数 | 直接换算成流量负载 Q，检验前级泵在背压下够不够 |
| 被抽介质 | 粉尘、水汽、溶剂蒸汽、靶材挥发物 | 决定要不要泵前过滤、冷凝与气镇 |
| 同时使用系数 | 几台腔体共用一套泵组、错峰程度 | 共泵时峰值叠加，实际可用抽速被分走 |
| 管路条件 | 泵房到腔体的距离、通径、弯头与阀门数量 | 管路流阻是有效抽速最大的隐性折扣 |
二、预抽段：抽气时间怎么算出来
粗真空段用等温近似，抽气时间：
t =（V / S）× ln（p₁ / p₂）
V 为腔体容积，S 为有效抽速，p₁ 为起始压力，p₂ 为目标压力。以 1013 mbar 抽到 10 mbar 为例，ln(1013/10) ≈ 4.62。
| 腔体容积 | 主机 | 额定抽速 | 理想抽气时间 | 按 70% 有效抽速折算 |
|---|---|---|---|---|
| 0.5 m³ | DPL-V0155 | 150 m³/h | 55 s | 79 s |
| 1.0 m³ | DPL-V0202 | 200 m³/h | 83 s | 119 s |
| 2.0 m³ | DPL-V0302 | 300 m³/h | 111 s | 158 s |
| 2.5 m³ | DPL-V300B | 实际 240 m³/h | 173 s | 247 s |
| 3.0 m³ | DPL-V630B | 实际 640 m³/h | 78 s | 111 s |
表里两列差得不少，第二列才是能拿去报节拍的数。70% 是管路与阀门的粗折算：通径偏小、管线偏长、弯头偏多，实际折算系数还要往下压。这不是估算误差，是真空系统里最常被忽略的一段损失——泵在腔体旁边测得出来的抽速，和泵房隔着十几米管路测出来的抽速，可以差出一半。
还有两件事会把曲线压平：腔壁与装夹件的放气，以及密封面与法兰的漏率。它们不随压力线性变化，越接近目标压力越明显。这也是为什么预抽阶段常开气镇：气镇掺入干燥空气，把可凝组分（尤其水汽）的分压压低，使其在排气阀打开前不凝结在泵油里；代价是极限压力下降，所以接近交接压力时要关掉气镇再往下拉。开多久、什么时候关，按实际水汽量试，不要常年开着了事。
三、维持段：工艺气体负载决定前级泵的下限
预抽算的是「搬空气」，溅射段算的是「搬工艺气体」，两者是完全不同的账。维持段的关系是：
Q = p × S
Q 为气体负载，p 为工作压力，S 为在该压力点上的有效抽速。1 sccm 约等于 1.27×10⁻² mbar·L/s，200 sccm 的氩气流量约合 2.54 mbar·L/s。把这笔负载摊到不同背压上：
| 前级背压 | 200 sccm 所需抽速 |
|---|---|
| 0.5 mbar | 18.3 m³/h |
| 0.3 mbar | 30.5 m³/h |
| 0.1 mbar | 91.4 m³/h |
| 0.05 mbar | 182.9 m³/h |
结论很直接：背压定得越低，前级泵越吃力。同样是 200 sccm 的工艺气体，背压 0.5 mbar 时 20 m³/h 量级就够，压到 0.05 mbar 就要 180 m³/h 以上。所以「前级泵选多大」不能脱离「前级工作在什么压力」单独谈——这也是同一个型号在这条线上够用、在隔壁那条线上不够用的原因。
四、罗茨段：铭牌抽速只在入口压力足够高时成立
腔体超过 1.5 m³ 或者节拍压得紧，单台机械泵往往撑不住，要上罗茨机组。这里最容易出的偏差是把罗茨泵的额定抽速当常数用。
LC 系列五款的额定抽速是 250、500、1200、2600、4200 m³/h（50Hz），电机功率依次 2.2、2.2、4.0、7.5、11 kW，进气口从 ISO63 到 ISO250。这些值是入口压力足够高时的值；入口压力往下走，罗茨泵能带走的气量随之下降，实际抽速越来越取决于前级泵在同一个压力点还剩多少能力。典型搭配如 2V80（74 m³/h、3 kW）配 LC250、2V275（255 m³/h、7.5 kW）配 LC2600，用于镀膜腔体预抽与大型腔体抽气。
罗茨泵两个转子非接触、靠间隙密封，压差过大电机容易过载。以 WSU2000 为例，最大允许压差 50 mbar、抽速 2050 m³/h、7.5 kW、DN160 ISO-K 法兰，这个 50 mbar 就是联锁设计的边界值。控制上按「前级先建立基础真空 → 入口压力到设定值 → 投入罗茨」的顺序执行，压差超限用溢流阀或旁通限制，别让前级泵硬扛。
五、按腔体容积配泵：一页配置表
| 腔体容积 | 目标交接压力 | 主机 | 电机功率 | 极限压力（关气镇） | 加强方案 |
|---|---|---|---|---|---|
| 0.3～0.6 m³ | 10 mbar | DPL-V0155（150 m³/h） | 4.0 kW | 0.3 mbar | 节拍紧时配 LC250 |
| 0.6～1.2 m³ | 10 mbar | DPL-V0202（200 m³/h） | 5.5 kW | 0.1 mbar | 配 LC500 |
| 1.2～2.0 m³ | 10 mbar | DPL-V0302（300 m³/h） | 7.5 kW | 0.5 mbar | 配 LC500 / LC1200 |
| 2.0～3.0 m³（安装空间紧） | 10 mbar | DPL-V300B（名义 280 / 实际 240 m³/h） | 5.5 kW | ≤0.08 mbar | 配 LC500 |
| 3.0 m³ 以上或高节拍 | 10 mbar | DPL-V630B（名义 700 / 实际 640 m³/h） | 15 kW | ≤0.08 mbar | 配 LC1200 以上 |
| 需 10⁻² mbar 以下本底 | — | DPL-2V80 / 2V275 + LC 机组 | 3 / 7.5 kW | 4×10⁻⁴ / 5×10⁻⁴ mbar | 按背压复核前级 |
表里 V300B 与 V630B 同时给了名义值与实际值，选型请按实际值算节拍：名义抽速是几何排量，实际抽速是实测值，两者差 8%～9%，直接决定表二那一列算出来的秒数。
六、常见坑
1. 只比铭牌抽速，不看工作压力点。 两台泵铭牌差 20%，在 0.05 mbar 背压下的实际抽速可能差一倍，因为抽速曲线在这个压力段是往下掉的。
2. 管路按泵的口径接，不按流量核。 进气口 G2″ 不等于管路就该用 G2″，弯头、波纹管、阀门的通径都要跟着核。管路损失属于不换泵就能让节拍变慢的那一类问题。
3. 多台腔体共用一个泵组，按单台需求量选。 共泵要按峰值叠加，再乘同时使用系数。共泵省设备，但峰值时的压力波动会直接传到每一台腔体上。
4. 气镇常年开着。 气镇能压住可凝组分，代价是极限压力下降、泵温升高。抽完含可凝气的一炉，转下一炉前关掉再往下拉，别为了省事一直开着。
5. 油温与油质不查。 油封泵的抽速与油的状态直接相关，油乳化、油位偏低、油温过高都会让抽速在下半天掉下来——这正是「早班快、下午慢」最常见的物理原因之一。
6. 50/60Hz 直接套用参数。 同一型号在 60Hz 下转速与抽速不同，电机与接线也要跟着变。部分机型不适合 60Hz 地区，出口或海外项目下单前需确认。