罗茨泵（机械增压泵）本身不直接向大气排气，它装在旋片泵或其它前级泵与真空腔之间，作用是提高某一压力区间内的抽速。是否需要它，取决于两件事：气体量的大小，以及需要这个抽速出现在哪个压力区间。
适用情形
- 腔体容积大、需要快速抽除大量气体，前级泵单独抽时间太长；
- 工艺要求在较低工作压力下仍维持较大流量，而单台前级泵的抽速曲线在这个区间已经明显下降；
- 存在少量可凝性气体或粉尘，需要通过压缩比与前置捕集配合处理。
不适用或需谨慎
- 工作压力本来就要求很低（高真空段），罗茨泵仍属中真空范畴，高真空段要由分子泵或扩散泵承担；
- 气体量小、腔体小，加增压级带来的收益有限，反而增加一台设备的维护与占地；
- 气体含大量粉尘或液体，直接经罗茨泵会加速转子与间隙磨损，必须在前端做好过滤与捕集。
配置要点：罗茨泵与前级泵按抽速比配，比例过大时可用溢流阀或旁通限制压差，避免前级泵过载。启动顺序按前级先建立基础真空、再投入罗茨泵执行。选型时按实际压力-抽速曲线核算，只按最大抽速对比容易选错。
本文为选型方法说明，非具体工程记录。