2V80 / 2V275 双级油封旋片式真空泵

双级结构把两个泵腔串联：前级抽出的气体被后级再压缩一次，极限真空因此从单级的 0.5 mbar 级降到 10⁻⁴ mbar 级。2V80 关气镇极限真空 4×10⁻⁴ mbar，2V275 为 5×10⁻⁴ mbar，开气镇都在 5×10⁻³ mbar。

2V80 抽速 74 m³/h（50Hz）、3 kW，ISO40/KF40 进气、NW25/KF25 排气，125 kg。2V275 抽速 255 m³/h、7.5 kW，ISO63 进气、ISO40 排气，225 kg，带冷却水路：冷却回路允许压力 3 bar，20℃ 时建议最小流量 120 L/h。

2V275 需要接冷却水，这是与 2V80 在安装上的主要差别；没有循环水的现场要提前配冷却水机或水箱。

典型用途：真空含浸、真空镀膜、微电子与光电半导体、封装测试、等离子清洗、真空干燥与冷冻干燥的前级。这些工艺要的是 10⁻³ mbar 以下的真空度，单级泵到不了。

气镇阀在抽含水汽或可凝性气体时开启，极限真空会回落到 10⁻³ mbar 级；工艺要求极限真空时须关闭气镇，同时在进气侧加装冷阱。