Условия работы: камеры для нанесения покрытий, сушки или контроля, которые в каждом цикле необходимо откачать от атмосферного давления до заданного грубого вакуума (обычно 10 ~ 20 kPa), после чего подключается высоковакуумный насос. На этом этапе объём откачиваемого газа наибольший; если насос выбран недостаточной мощности, такт затягивается.
Принцип подбора: время откачки оценивается по формуле t = (V / S) · ln(p₁ / p₂), где V — объём камеры, S — эффективная скорость откачки, p₁ — начальное давление, p₂ — целевое давление. Эта формула даёт идеальное значение: фактическая скорость откачки снижается по мере падения давления, а диаметр, длина, отводы и клапаны трубопровода дополнительно уменьшают эффективную скорость откачки, поэтому фактическое время будет больше расчётного.
Направление конфигурации: для камеры объёмом 0.5 m³ и целевого давления 10 kPa при расчёте с V25/40 (40 m³/h) теоретическое время откачки составляет порядка 2 минут, но при малом диаметре присоединительного трубопровода или большом числе отводов оно заметно увеличивается. Если камера большая или несколько камер используют один насос, следует перейти на модель с большей скоростью откачки или установить вакуумный ресивер для распределения пиковой нагрузки.
Меры предосторожности: технологические остатки (пыль, водяной пар, пары растворителей) требуют установки фильтра и конденсатора перед насосом; при установке насоса внутри оборудования необходимо оставлять пространство для отвода тепла; при длительной непрерывной откачке следует учитывать нагрев корпуса.
На этой странице описан метод подбора, а не запись конкретного проекта.