Различия в выборе вакуумных насосов в первую очередь определяются требованиями процесса к степени вакуума, скорости откачки и рабочей среде, а не самой отраслью. В одной и той же отрасли для удержания и перемещения заготовок и для предварительной откачки камеры требуются совершенно разные конфигурации.
Ниже требования и направления конфигурирования систематизированы по типовым сценариям применения. На каждой странице приведены входные параметры, которые действительно необходимо уточнить для данного процесса, а также рекомендации по трубопроводам, фильтрации и конденсации.
