Вакуумная система линии нанесения покрытий обычно имеет многоступенчатую конфигурацию: механический насос отвечает за откачку от атмосферного давления до низкого вакуума, после чего подключается высоковакуумный насос. Безмасляные пластинчато-роторные насосы часто устанавливаются на форвакуумной ступени и ступени предварительной откачки, а также используются на позициях вакуумного закрепления и удержания заготовок и очистки камеры.
В таких условиях следует учитывать три момента: во-первых, технологические остатки в откачиваемом газе (небольшое количество пыли, водяного пара, паров растворителей) попадают в полость насоса, поэтому перед насосом необходимо предусмотреть фильтрацию и конденсацию; во-вторых, время предварительной откачки напрямую влияет на такт, его следует рассчитывать по объёму камеры, требуемой степени предварительного вакуума и эффективной скорости откачки насоса; в-третьих, отвод тепла при непрерывной работе: если насос установлен внутри оборудования, необходимо оставить пространство для вентиляции.
Потери давления, вызванные диаметром трубопровода, клапанами и коленами, могут заметно увеличить время предварительной откачки; при подборе следует учитывать сопротивление системы в целом, а не ориентироваться только на паспортную скорость откачки насоса.