Процесс откачки вакуумной печи термической обработки начинается с атмосферного давления; на первой половине этапа его обеспечивает механический насос, что характеризуется большим объёмом газа, частыми пусками и возможной повышенной температурой и влажностью откачиваемого газа.
Безмасляный пластинчато-роторный насос может непосредственно выполнять предварительную откачку и поддержание низкого вакуума; если в печи присутствуют летучие вещества или водяной пар, перед насосом необходимо установить конденсатор и фильтр, а конденсат регулярно сливать. Время, необходимое для откачки до заданной степени форвакуума, оценивается по объёму печи и эффективной скорости откачки насоса; недостаточный диаметр присоединительного трубопровода значительно увеличивает это время.
Режимы вакуумной сушки, вакуумной дегазации и вакуумной пропитки (импрегнирования) близки к термообработке: в начале — большое количество газа при атмосферном давлении, затем — небольшое количество водяного пара или паров растворителя. При подборе одновременно указывают рабочую степень вакуума, скорость откачки и целевое время однократной откачки.