Производство полупроводников и электроники

В производстве электроники потребность в вакууме чаще всего носит периодический, кратковременный и чистый характер: захват и перемещение пластин и подложек, удержание компонентов на позициях монтажа и присоединения, удаление частиц и летучих веществ на позициях контроля и очистки. Общие требования к таким условиям — отсутствие масляного тумана в выхлопе, частые пуски и остановы, малые размеры для встраивания внутрь оборудования.

Безмасляный пластинчато-роторный насос не образует масляного тумана на стороне выхлопа, прост в подключении и обслуживании, подходит в качестве источника вакуума для комплектации такого оборудования. При выборе следует в первую очередь уточнить: требуемую рабочую степень разрежения (для удержания обычно ниже 80 kPa), мгновенный расход, определяемый площадью захвата и массой заготовки, а также число пусков и остановов в минуту.

Если позиция чувствительна к частицам, рекомендуется установить фильтрующий элемент на стороне входа и регулярно его заменять; если откачиваемый газ содержит летучие вещества флюса, перед насосом следует установить конденсационный сепаратор.

Нужен подбор или расчёт стоимости?

Укажите требования к скорости откачки, предельный вакуум, тип газа, наличие пыли и агрессивных сред, режим работы и электропитание — мы предложим модель с учётом условий эксплуатации.

Свяжитесь с нами