Насосная станция цеха напыления чаще всего расположена на некотором расстоянии от камеры. Три камеры напыления работают от одного насосного агрегата: загрузка подложек, откачка, напыление, сброс вакуума, выгрузка — цикл завершается, и оператор напрямую ощущает такт: утренняя загрузка откачивается от атмосферного давления до давления переключения за 6 минут, та же загрузка днём — за 8 с половиной минут. Камера не менялась, насосы не сообщали о неисправности, но параметры не держатся стабильно.
Такое «чем дальше, тем медленнее откачивает» в большинстве случаев связано не с поломкой насоса, а с падением скорости откачки в средней области. Ниже — несколько мест, которые раз за разом встречаются в практической диагностике.
Первое. Предварительная откачка делится на два этапа, и требования к ним различаются
Камера напыления откачивается от атмосферного давления до технологического вакуума и проходит через две области. На участке от атмосферного давления до нескольких десятков mbar объём газа велик, и его перекачивает форвакуумный механический насос; после перехода в область низкого вакуума подключается бустерная ступень и продолжает понижать давление, а высоковакуумная ступень передаётся турбомолекулярному или диффузионному насосу. Если форвакуумный насос выбран слишком малым, начальный этап замедляется; если бустерная ступень подобрана неудачно, затягивается последующий этап.
Одноступенчатый маслозаполненный пластинчато-роторный насос на этом участке является стандартным решением. V0155 имеет скорость откачки 150 m³/h (50Hz), двигатель 4.0 kW, предельное остаточное давление при закрытом газобалласте 0.3 mbar, входной и выходной патрубки G2"; следующая модель V0160 — 160 m³/h, 4 kW, при закрытом газобалласте 0.1 mbar; V0202 — 200 m³/h, 5.5 kW, при закрытом газобалласте также 0.1 mbar; для камеры большего размера применяется V0302 — 300 m³/h, 7.5 kW. При стеснённых условиях монтажа и потребности около 280 m³/h можно рассмотреть V300B: 5.5 kW, при закрытом газобалласте 0.08 mbar, корпус 1100 mm. Для этой серии при непрерывной работе рабочее давление должно быть ниже -300 mbar (по манометру), температура окружающей среды 0~35℃.
Второе. Скорость откачки насоса Рутса зависит от входного давления, а не от числа на шильдике
Пять моделей серии LC имеют номинальную скорость откачки 250, 500, 1200, 2600, 4200 m³/h (50Hz), мощность двигателя соответственно 2.2, 2.2, 4.0, 7.5, 11 kW, входной патрубок от ISO63 до ISO250. Эти значения соответствуют достаточно высокому входному давлению. При снижении давления количество газа, которое может перекачивать насос Рутса, уменьшается, и фактическая скорость откачки всё сильнее зависит от того, какой запас производительности сохраняет форвакуумный насос в той же точке давления.
Поэтому порядок подбора насосов такой: сначала определяется рабочее давление,