Насос Рутса (механический бустерный насос) сам по себе не осуществляет выпуск непосредственно в атмосферу; он устанавливается между пластинчато-роторным или другим форвакуумным насосом и вакуумной камерой и служит для повышения скорости откачки в определенном диапазоне давлений. Необходимость его применения зависит от двух факторов: объема газа и того, в каком диапазоне давлений требуется эта скорость откачки.
Когда применяется
- Большой объем камеры и необходимость быстро откачивать большое количество газа, когда откачка только форвакуумным насосом занимает слишком много времени;
- Технологический процесс требует поддерживать значительный поток при более низком рабочем давлении, а кривая скорости откачки одного форвакуумного насоса в этом диапазоне уже заметно снижается;
- Присутствует небольшое количество конденсируемых газов или пыли, требуется обработка с использованием степени сжатия и предварительного улавливания.
Когда не применяется или требует осторожного подхода
- Рабочее давление изначально должно быть очень низким (область высокого вакуума); насос Рутса относится к области среднего вакуума, а высоковакуумный диапазон обеспечивается турбомолекулярным или диффузионным насосом;
- Малый объем газа и небольшая камера: выгода от бустерной ступени ограничена, при этом возрастают затраты на обслуживание и занимаемая площадь дополнительного оборудования;
- Газ содержит большое количество пыли или жидкости; прохождение напрямую через насос Рутса ускоряет износ роторов и зазоров, поэтому на входе необходимо обеспечить фильтрацию и улавливание.
Ключевые моменты конфигурации: насос Рутса и форвакуумный насос подбираются по соотношению скоростей откачки; при слишком большом соотношении можно ограничить перепад давления с помощью перепускного клапана или байпаса, чтобы избежать перегрузки форвакуумного насоса. Порядок запуска: сначала форвакуумный насос создает предварительный вакуум, затем включается насос Рутса. При выборе необходимо рассчитывать по фактической кривой давление—скорость откачки; сравнение только по максимальной скорости откачки легко приводит к ошибке выбора.
Эта статья является описанием методики выбора, а не конкретной инженерной записью.