Двухступенчатый пластинчато-роторный вакуумный насос с масляным уплотнением 2V80 / 2V275

Двухступенчатая конструкция последовательно соединяет две насосные камеры: газ, откачиваемый первой ступенью, дополнительно сжимается второй ступенью, поэтому предельное остаточное давление снижается с уровня 0.5 mbar у одноступенчатого насоса до уровня 10⁻⁴ mbar. Предельное остаточное давление 2V80 при закрытом газобалластном клапане составляет 4×10⁻⁴ mbar, у 2V275 — 5×10⁻⁴ mbar, при открытом газобалластном клапане у обоих 5×10⁻³ mbar.

2V80: скорость откачки 74 m³/h (50Hz), мощность 3 kW, впуск ISO40/KF40, выпуск NW25/KF25, масса 125 kg. 2V275: скорость откачки 255 m³/h, мощность 7.5 kW, впуск ISO63, выпуск ISO40, масса 225 kg, с контуром охлаждения: допустимое давление в контуре охлаждения 3 bar, при 20℃ рекомендуемый минимальный расход 120 L/h.

2V275 требует подключения охлаждающей воды, это основное отличие от 2V80 при монтаже; на объектах без циркуляционной воды необходимо заранее предусмотреть чиллер или бак для воды.

Типичные применения: вакуумная пропитка, вакуумное напыление, микроэлектроника и оптоэлектронные полупроводники, испытания корпусов, плазменная очистка, предварительная ступень для вакуумной сушки и сублимационной сушки. Для этих процессов требуется вакуум ниже 10⁻³ mbar, который недостижим для одноступенчатого насоса.

Газобалластный клапан открывают при откачке газов, содержащих водяной пар или конденсирующиеся компоненты; предельное остаточное давление при этом ухудшается до уровня 10⁻³ mbar. Когда процесс требует предельного остаточного давления, газобалластный клапан необходимо закрыть и одновременно установить криоловушку на стороне впуска.