สภาวะการทำงาน: เครื่องตรวจวัดด้วยแสงและคัดแยก เช่น เครื่องสเปกโตรโฟโตมิเตอร์ จำเป็นต้องยึดแผ่นเวเฟอร์ เลนส์ หรือชิปบนสถานีตรวจสอบด้วยการดูดอย่างมั่นคง เพื่อไม่ให้ชิ้นงานที่ตรวจวัดเกิดการเคลื่อนตำแหน่งระหว่างการวัด; ขั้นตอนการคัดแยกและการลำเลียงอาจต้องใช้การดูดจับเพื่อเคลื่อนย้าย
ข้อกำหนด: พื้นผิวดูดมักมีขนาดเล็ก ต้องมีความเป็นสุญญากาศที่เสถียรและไม่มีการสั่นเป็นจังหวะที่ชัดเจน เพื่อหลีกเลี่ยงการสั่นของชิ้นงานขณะวัด การตรวจวัดทำในสภาพแวดล้อมสะอาด ไอเสียต้องไม่มีละอองน้ำมัน; เมื่อมีสถานีหลายจุดและมีการทำงานบ่อย ปั๊มต้องเริ่มและหยุดบ่อยตามอุปกรณ์
แนวทางการกำหนดค่า: คำนวณระดับสุญญากาศและอัตราการไหลที่ต้องการตามพื้นที่ดูดและน้ำหนักชิ้นงาน ปั๊มใบพัดแบบไม่ใช้น้ำมันขนาดเล็กสามารถรองรับสถานีส่วนใหญ่ได้ เมื่อปั๊มหนึ่งตัวจ่ายให้สถานีดูดหลายสถานี แนะนำให้ติดตั้งถังสุญญากาศและวาล์วทางเดียวในท่อ เพื่อลดการรบกวนซึ่งกันและกันระหว่างสถานี V8, V10, V16 มีขนาดเล็ก เหมาะสำหรับติดตั้งภายในอุปกรณ์
ข้อควรระวัง: ติดตั้งตัวกรองและตัวดักฝุ่นระหว่างสถานีดูดกับปั๊ม เพื่อป้องกันเศษวัสดุเข้าสู่ห้องปั๊ม; เมื่อชิ้นงานบางและแตกหักง่าย ควรจำกัดแรงดูดและติดตั้งระบบตรวจวัดแรงดัน; การรั่วของข้อต่อท่อเป็นสาเหตุทั่วไปที่ทำให้การดูดไม่เสถียร ต้องตรวจสอบเป็นประจำ
หน้านี้อธิบายวิธีการเลือกใช้ ไม่ใช่บันทึกโครงการเฉพาะ