จับคู่รุ่นเครื่องตามข้อกำหนดของกระบวนการด้านระดับสุญญากาศ อัตราการสูบ และตัวกลาง
ความแตกต่างในการเลือกปั๊มสุญญากาศ ส่วนใหญ่มาจากข้อกำหนดของกระบวนการต่อระดับสุญญากาศ อัตราการสูบ และตัวกลาง ไม่ใช่จากตัวอุตสาหกรรมเอง ภายในอุตสาหกรรมเดียวกัน การยึดจับและเคลื่อนย้ายกับการสูบเบื้องต้นของห้องสุญญากาศ ต้องใช้การกำหนดค่าที่แตกต่างกันอย่างชัดเจน
ด้านล่างนี้จัดเรียงข้อกำหนดและแนวทางการกำหนดค่าตามสถานการณ์การใช้งานทั่วไป แต่ละหน้าระบุรายการข้อมูลนำเข้าที่กระบวนการนั้นจำเป็นต้องยืนยันจริง รวมถึงข้อแนะนำสำหรับอุปกรณ์ประกอบ เช่น ท่อ การกรอง และการควบแน่น
การยึดจับเวเฟอร์และซับสเตรต การวางชิ้นส่วน และการดูดสุญญากาศที่สถานีตรวจสอบ
การสูบเบื้องต้นของห้องเคลือบ การจับยึดด้วยการดูด การทำความสะอาดก่อนเคลือบ และการช่วยระบายแก๊ส
การสูบเบื้องต้นของตัวเตา การอบแห้งในสุญญากาศ การกำจัดก๊าซในสุญญากาศ และการอัดซึมในสุญญากาศ
สถานีดูดอากาศออกของเครื่องบรรจุภัณฑ์ การขนย้ายด้วยถ้วยดูดสุญญากาศ การเปิดถุง และการขึ้นรูป
การดูดอากาศออกจากบรรจุภัณฑ์ การกำจัดก๊าซด้วยสุญญากาศ การลำเลียงผง และสถานีงานสะอาด
การกลั่นภายใต้สุญญากาศ การกรองด้วยสุญญากาศ การกำจัดก๊าซด้วยสุญญากาศ และช่วงต้นของการนำตัวทำละลายกลับมาใช้ใหม่
การดูดสุญญากาศรวมสำหรับหลายสถานีทำงาน พร้อมชุดถังสุญญากาศและระบบท่อ
กรุณาระบุอัตราการสูบที่ต้องการ สุญญากาศสูงสุด ชนิดก๊าซ ฝุ่นและสภาวะการกัดกร่อน รูปแบบการทำงานและแหล่งจ่ายไฟ เราจะแนะนำรุ่นตามสภาพการใช้งาน
ติดต่อเรา