ระบบสุญญากาศของสายการเคลือบมักจัดวางแบบแยกขั้น: ปั๊มเชิงกลทำหน้าที่สูบจากบรรยากาศลงสู่สุญญากาศต่ำ จากนั้นปั๊มสุญญากาศสูงจึงทำงานต่อ ปั๊มใบพัดเลื่อนแบบไม่ใช้น้ำมันมักติดตั้งในส่วนขั้นต้นและช่วงสูบเบื้องต้น รวมถึงใช้ในสถานีจับยึดด้วยการดูดและทำความสะอาดห้อง
สภาวะการทำงานประเภทนี้ต้องให้ความสำคัญกับสามจุด: หนึ่ง สารตกค้างจากกระบวนการในก๊าซที่ถูกสูบ (ฝุ่นปริมาณเล็กน้อย ไอน้ำ ไอตัวทำละลาย) อาจเข้าไปในห้องปั๊ม จึงต้องติดตั้งระบบกรองและควบแน่นก่อนปั๊ม; สอง เวลาสูบเบื้องต้นส่งผลโดยตรงต่อจังหวะการผลิต จึงควรคำนวณจากปริมาตรห้อง ระดับสุญญากาศที่ต้องการสำหรับการสูบเบื้องต้น และอัตราการสูบที่มีประสิทธิผลของปั๊ม; สาม การระบายความร้อนขณะทำงานต่อเนื่อง เมื่อติดตั้งปั๊มไว้ภายในอุปกรณ์ ต้องเผื่อพื้นที่ระบายอากาศ
การสูญเสียแรงดันที่เกิดจากขนาดท่อ วาล์ว และข้องอ จะทำให้เวลาสูบเบื้องต้นยาวขึ้นอย่างชัดเจน เมื่อเลือกขนาด/รุ่น ควรนำความต้านทานของระบบมารวมคำนวณด้วย ไม่ควรดูเพียงอัตราการสูบตามป้ายของปั๊ม