กระบวนการสูบอากาศของเตาอบชุบด้วยความร้อนในสุญญากาศเริ่มจากความดันบรรยากาศ โดยช่วงครึ่งแรกอาศัยปั๊มเชิงกล ลักษณะคือมีปริมาณก๊าซมาก เริ่มทำงานบ่อยครั้ง และอุณหภูมิกับความชื้นของก๊าซที่ถูกสูบออกอาจค่อนข้างสูง
ปั๊มสุญญากาศแบบใบพัดไม่ใช้น้ำมันสามารถรับหน้าที่การสูบเบื้องต้นและการรักษาสุญญากาศระดับต่ำได้โดยตรง หากภายในเตามีสารระเหยหรือไอน้ำ จำเป็นต้องติดตั้งคอนเดนเซอร์และตัวกรองก่อนปั๊ม และระบายของเหลวที่ควบแน่นออกเป็นประจำ ระยะเวลาที่ต้องใช้ในการสูบจนถึงระดับสุญญากาศหยาบที่กำหนด ประเมินจากปริมาตรของตัวเตาและอัตราการสูบที่มีประสิทธิผลของปั๊ม หากขนาดรูในของท่อเชื่อมต่อไม่เพียงพอ จะทำให้ระยะเวลายาวขึ้นอย่างเห็นได้ชัด
สภาวะการทำงานของ การอบแห้งในสุญญากาศ การกำจัดก๊าซในสุญญากาศ และการอัดซึมในสุญญากาศ (การชุบซึม) ใกล้เคียงกับการอบชุบด้วยความร้อน: เริ่มต้นด้วยก๊าซปริมาณมากที่ความดันบรรยากาศ จากนั้นเป็นไอน้ำหรือไอตัวทำละลายปริมาณเล็กน้อย เมื่อเลือกขนาด ควรระบุระดับสุญญากาศที่ใช้งาน อัตราการสูบ และเป้าหมายเวลาสูบต่อครั้งพร้อมกัน