การผลิตเซมิคอนดักเตอร์และอิเล็กทรอนิกส์

ความต้องการสุญญากาศในงานผลิตอิเล็กทรอนิกส์มักเป็นแบบเป็นช่วง ระยะสั้น และสะอาด เช่น การดูดจับและเคลื่อนย้ายเวเฟอร์กับซับสเตรต การวางชิ้นส่วนและบอนดิ้งเพื่อรักษาตำแหน่งชิ้นส่วน และการดูดเศษกับสารระเหยออกที่สถานีตรวจสอบและทำความสะอาด ข้อกำหนดร่วมของสภาวะการทำงานลักษณะนี้ ได้แก่ ไอเสียไม่มีละอองน้ำมัน มีการเริ่มและหยุดบ่อย และมีขนาดเล็กเพื่อความสะดวกในการติดตั้งภายในอุปกรณ์

ปั๊มใบพัดแบบไม่ใช้น้ำมันไม่ทำให้เกิดละอองน้ำมันที่ด้านไอเสีย การต่อท่อและการบำรุงรักษาทำได้ง่าย เหมาะสำหรับใช้เป็นแหล่งสุญญากาศประกอบสำหรับอุปกรณ์ประเภทนี้ เมื่อเลือกขนาด ควรตรวจสอบประเด็นหลัก ได้แก่ ระดับสุญญากาศใช้งานที่ต้องการ (การยึดจับโดยทั่วไปต่ำกว่า 80 kPa) อัตราการไหลชั่วขณะที่กำหนดโดยพื้นที่ดูดจับและน้ำหนักชิ้นงาน และจำนวนครั้งในการเริ่ม/หยุดต่อนาที

หากสถานีไวต่ออนุภาค แนะนำให้ติดตั้งไส้กรองที่ด้านทางเข้าและเปลี่ยนตามระยะเวลา หากก๊าซที่ถูกดูดมีสารระเหยของฟลักซ์ ควรติดตั้งตัวแยกโดยการควบแน่นก่อนปั๊ม