
โครงสร้างสองขั้นต่อห้องสูบทั้งสองแบบอนุกรม: ก๊าซที่ถูกสูบออกจากขั้นแรกจะถูกขั้นที่สองอัดซ้ำอีกครั้ง สุญญากาศสุดท้ายจึงลดจากระดับ 0.5 mbar ของขั้นเดียวลงสู่ระดับ 10⁻⁴ mbar。2V80 ให้สุญญากาศสุดท้าย 4×10⁻⁴ mbar เมื่อปิดบาลลาสต์แก๊ส ส่วน 2V275 อยู่ที่ 5×10⁻⁴ mbar และเมื่อเปิดบาลลาสต์แก๊สทั้งสองรุ่นอยู่ที่ 5×10⁻³ mbar。
2V80 มีอัตราการสูบ 74 m³/h (50Hz) กำลัง 3 kW ทางเข้า ISO40/KF40 ทางออก NW25/KF25 น้ำหนัก 125 kg。2V275 มีอัตราการสูบ 255 m³/h กำลัง 7.5 kW ทางเข้า ISO63 ทางออก ISO40 น้ำหนัก 225 kg พร้อมวงจรน้ำหล่อเย็น: แรงดันที่อนุญาตของวงจรหล่อเย็น 3 bar และแนะนำอัตราการไหลขั้นต่ำ 120 L/h ที่ 20℃
2V275 ต้องต่อน้ำหล่อเย็น ซึ่งเป็นความแตกต่างหลักในการติดตั้งเมื่อเทียบกับ 2V80;หน้างานที่ไม่มีน้ำหมุนเวียนต้องเตรียมเครื่องทำน้ำเย็นหรือถังน้ำไว้ล่วงหน้า
การใช้งานทั่วไป: การอัดซึมในสุญญากาศ การเคลือบฟิล์มในสุญญากาศ ไมโครอิเล็กทรอนิกส์และสารกึ่งตัวนำโฟโตอิเล็กทรอนิกส์ การทดสอบและบรรจุภัณฑ์ การทำความสะอาดด้วยพลาสมา และปั๊มขั้นต้นสำหรับการอบแห้งในสุญญากาศและการทำแห้งแบบเยือกแข็ง กระบวนการเหล่านี้ต้องการระดับสุญญากาศที่ต่ำกว่า 10⁻³ mbar ซึ่งปั๊มขั้นเดียวไม่สามารถทำได้ถึง
เปิดวาล์วบาลลาสต์แก๊สเมื่อสูบก๊าซที่มีไอน้ำหรือก๊าซที่ควบแน่นได้ สุญญากาศสุดท้ายจะลดลงกลับไปอยู่ที่ระดับ 10⁻³ mbar;เมื่อกระบวนการต้องการสุญญากาศสุดท้าย ต้องปิดบาลลาสต์แก๊ส และติดตั้งกับดักเย็นที่ด้านทางเข้า
ข้อมูลทางเทคนิค
| อัตราการสูบพิกัด 50/60Hz (2V80 / 2V275) | 74/90 · 255/306 m³/h |
|---|---|
| สุญญากาศสุดท้าย (ปิดบาลลาสต์แก๊ส) | 4×10⁻⁴ / 5×10⁻⁴ mbar |
| สุญญากาศสุดท้าย (เปิดบาลลาสต์แก๊ส) | 5×10⁻³ mbar |
| กำลังมอเตอร์ | 3 / 7.5 kW |
| แรงดันไฟฟ้า | 三相 220/240V、380/415V |
| พอร์ตทางเข้า / พอร์ตทางออก (2V80) | ISO40(KF40) / NW25(KF25) |
| พอร์ตทางเข้า / พอร์ตทางออก (2V275) | ISO63 / ISO40 |
| ระดับเสียง | 70 dB |
| ปริมาณน้ำมัน | 5 / 18 L |
| น้ำหนัก | 125 / 225 kg |