Điều kiện làm việc: Máy phân quang và các thiết bị kiểm tra, phân loại quang điện khác cần hút giữ ổn định wafer, thấu kính hoặc chip tại trạm kiểm tra, để chi tiết được đo không bị dịch chuyển trong quá trình đo; công đoạn phân loại và truyền tải cũng có thể cần hút giữ để vận chuyển.
Yêu cầu: Bề mặt hút giữ thường rất nhỏ, yêu cầu độ chân không ổn định, không có xung động rõ rệt, tránh chi tiết bị rung khi đo. Việc kiểm tra được thực hiện trong môi trường sạch, khí xả không được mang theo sương dầu; số trạm nhiều, thao tác liên tục, bơm cần khởi động và dừng thường xuyên theo thiết bị.
Hướng cấu hình: Tính toán độ chân không và lưu lượng cần thiết theo diện tích hút giữ và trọng lượng chi tiết; bơm cánh gạt không dầu loại nhỏ có thể đáp ứng phần lớn các trạm. Khi một bơm cấp cho nhiều trạm hút giữ, nên lắp thêm bình chân không và van một chiều trên đường ống để giảm ảnh hưởng lẫn nhau giữa các trạm. V8, V10, V16 có kích thước nhỏ, phù hợp để lắp bên trong thiết bị.
Lưu ý: Lắp thêm bộ lọc và bộ thu bụi giữa trạm hút giữ và bơm để ngăn mảnh vụn lọt vào khoang bơm; khi chi tiết mỏng và dễ vỡ, nên giới hạn lực hút và lắp thêm giám sát áp suất; rò khí tại đầu nối đường ống là nguyên nhân thường gặp khiến hút giữ không ổn định, cần kiểm tra định kỳ.
Trang này giải thích phương pháp chọn model, không phải bản ghi dự án cụ thể.