Lựa chọn kiểu máy theo yêu cầu của quy trình về độ chân không, tốc độ hút và môi chất
Sự khác biệt trong lựa chọn bơm chân không chủ yếu đến từ yêu cầu của quy trình về độ chân không, tốc độ hút và môi chất, chứ không phải từ bản thân ngành. Trong cùng một ngành, cấu hình cần cho thao tác hút giữ và vận chuyển khác biệt đáng kể so với cấu hình cần cho hút sơ bộ buồng.
Dưới đây tổng hợp các yêu cầu và hướng cấu hình theo các tình huống ứng dụng phổ biến. Mỗi trang đều nêu các hạng mục đầu vào cần xác nhận cho quy trình đó, cùng các gợi ý phụ trợ như đường ống, bộ lọc và ngưng tụ.
Hút giữ wafer và đế, gắn linh kiện, hút chân không tại trạm kiểm tra.
Hút sơ bộ buồng phủ, hút giữ khi gá kẹp, vệ sinh trước phủ và hỗ trợ xả khí.
Hút sơ bộ thân lò, sấy chân không, khử khí chân không và ngâm tẩm chân không.
Hút khí máy đóng gói, vận chuyển bằng giác hút chân không, trạm mở túi và tạo hình.
Hút khí đóng gói, khử khí chân không, vận chuyển bột và trạm làm việc sạch.
Chưng cất giảm áp, lọc chân không, khử khí chân không và công đoạn đầu của thu hồi dung môi.
Hút chân không tập trung cho nhiều vị trí làm việc, đồng bộ bồn chân không và hệ thống đường ống.
Vui lòng cung cấp yêu cầu tốc độ bơm, chân không tới hạn, loại khí, tình trạng bụi và ăn mòn, phương thức vận hành và nguồn điện; chúng tôi sẽ gợi ý mẫu máy theo điều kiện làm việc.
Liên hệ