Quá trình hút khí của lò xử lý nhiệt chân không bắt đầu từ áp suất khí quyển; nửa đầu do bơm cơ khí thực hiện, với đặc điểm là lượng khí lớn, khởi động thường xuyên, nhiệt độ và độ ẩm của khí bị hút có thể khá cao.
Bơm cánh gạt không dầu có thể trực tiếp thực hiện hút sơ bộ và duy trì chân không thấp; nếu trong lò có chất bay hơi hoặc hơi nước, cần đặt thiết bị ngưng tụ và lọc trước bơm, đồng thời xả dịch ngưng định kỳ. Thời gian cần để hút đến độ chân không thô đã đặt được ước tính theo thể tích thân lò và tốc độ hút hiệu dụng của bơm; đường kính ống nối không đủ sẽ làm thời gian kéo dài đáng kể.
Điều kiện làm việc của sấy chân không, khử khí chân không và ngâm tẩm chân không (tẩm) gần giống với xử lý nhiệt: ban đầu là lượng lớn khí ở áp suất thường, sau đó là một lượng nhỏ hơi nước hoặc hơi dung môi. Khi lựa chọn thiết bị, cần đồng thời đưa ra độ chân không làm việc, tốc độ hút và mục tiêu thời gian hút cho một lần.