Nhu cầu chân không trong sản xuất điện tử thường là gián đoạn, ngắn và sạch: hút giữ và vận chuyển wafer và đế, giữ vị trí linh kiện tại trạm gắn chip và liên kết, hút mảnh vụn và chất bay hơi tại trạm kiểm tra và làm sạch. Yêu cầu chung của những điều kiện làm việc này là khí xả không có sương dầu, khởi động/dừng thường xuyên, kích thước nhỏ để dễ lắp vào bên trong thiết bị.
Bơm cánh gạt không dầu không tạo sương dầu ở phía xả, việc đấu nối đường ống và bảo trì đơn giản, phù hợp làm nguồn chân không đi kèm cho loại thiết bị này. Khi chọn loại, cần xác nhận các điểm chính: độ chân không sử dụng cần thiết (hút giữ thường thấp hơn 80 kPa), lưu lượng tức thời do diện tích hút và khối lượng phôi quyết định, và số lần khởi động/dừng mỗi phút.
Nếu trạm làm việc nhạy với hạt, nên lắp thêm phần tử lọc ở phía đầu vào và thay định kỳ; nếu khí được hút chứa chất bay hơi từ chất trợ dung, nên bố trí tách ngưng tụ trước bơm.