Trong các quy trình như phủ màng, mạ ion, phún xạ, bơm chính thường là bơm khuếch tán hoặc bơm phân tử, phía trước còn cần một bơm sơ cấp chịu trách nhiệm nén phía xả của bơm chính xuống phạm vi có thể làm việc. Chọn sai bơm sơ cấp, bơm chính không hút lên được, hoặc dầu chảy ngược làm nhiễm bẩn buồng. Khi dùng bơm một cấp kín dầu kiểu cánh trượt làm bơm sơ cấp, mốc 0.1 mbar thường được hỏi là có đủ không.
I. Trước tiên phân biệt hai loại áp suất
- Áp suất sơ cấp: áp suất tại cửa xả của bơm chính, bơm sơ cấp quyết định trực tiếp giá trị này.
- Áp suất buồng: áp suất tại vị trí chi tiết gia công, do bơm chính cùng bơm sơ cấp cùng quyết định.
Yêu cầu quy trình 5×10⁻³ mbar không có nghĩa là bơm sơ cấp phải hút tới 5×10⁻³ mbar. Bơm sơ cấp chỉ cần nén phía xả của bơm chính xuống dưới áp suất sơ cấp tối đa cho phép của bơm chính; giá trị này do nhà sản xuất bơm chính đưa ra, bơm khuếch tán thường ở mức 0.10.5 mbar, bơm phân tử ở mức 110 mbar.
II. Khả năng thực tế của bơm một cấp kín dầu
| Kiểu máy | Tốc độ hút 50/60Hz | Chân không giới hạn (đóng ballast khí) | Chân không giới hạn (mở ballast khí) | Công suất |
|---|---|---|---|---|
| V0025A | 20 / 26 m³/h | 0.5 mbar | — | 0.75 kW |
| V0040A | 40 / 48 m³/h | 0.1 mbar | 0.5 mbar | 1.5 kW |
| V0063 | 63 / 75 m³/h | 0.1 mbar | 0.5 mbar | 2.2 kW |
| V0100 | 100 / 110 m³/h | 0.1 mbar | 0.5 mbar | 3.0 kW |
Từ V0040A trở đi, khi đóng ballast khí có thể đạt 0.1 mbar, phù hợp với bơm khuếch tán yêu cầu áp suất sơ cấp 0