Máy bơm cánh gạt không dầu không sử dụng dầu bơm chân không, vì vậy trọng tâm bảo trì chuyển từ thay dầu sang ba việc: khí nạp, tản nhiệt và mài mòn cánh gạt.
Chu kỳ thay bộ lọc khí nạp phải được xác định theo điều kiện làm việc: xưởng sạch có thể thay theo số giờ vận hành, môi trường có bụi hoặc sợi phải rút ngắn chu kỳ và định kỳ kiểm tra lõi lọc có bị hỏng hay không. Lõi lọc bị tắc sẽ trực tiếp làm giảm tốc độ hút hiệu dụng, biểu hiện là hút chậm hơn và độ chân không không lên được.
Về tản nhiệt, để khoảng không gian thông gió không nhỏ hơn 10 cm xung quanh thân bơm, tránh lắp trong hộp kín và chạy trong thời gian dài; khi nhiệt độ môi trường cao, nên giảm độ chân không sử dụng một cách thích hợp. Cánh gạt là bộ phận dễ mài mòn, khi tốc độ hút giảm, tiếng ồn tăng hoặc rung động mạnh hơn, nên dừng máy kiểm tra tình trạng mài mòn của cánh gạt và khoang bơm rồi thay thế.
Kiểm tra đường ống và các đầu nối xem có rò rỉ khí trước khi khởi động máy mỗi ngày, kiểm tra dây điện và nối đất mỗi quý.