Năng suất và độ đồng nhất lớp màng của dây chuyền phủ màng phần lớn dồn vào đoạn hút khí. Cùng một buồng, cùng một lô phôi, ca sáng hút từ áp suất thường đến áp suất chuyển giao mất 6 phút, ca chiều cùng một mẻ mất 8 phút rưỡi; buồng không đổi, bơm cũng không báo lỗi, nhịp độ vẫn không ổn định. Hiện tượng “càng hút càng chậm” này phần lớn không phải bơm hỏng, mà là tốc độ hút hiệu dụng bị giảm ở đoạn giữa.
Hệ thống chân không của dây chuyền phủ màng chân không (PVD) ngại biến động tốc độ hút vì nó đồng thời bị ba việc thúc ép: nhịp độ (hút sơ bộ chậm một phút, mỗi mẻ đều chậm một phút), nền (áp suất trước khi vào quy trình không đạt, độ bám và độ đồng nhất lớp màng dao động theo), áp suất khí quy trình (đoạn phún xạ dựa vào van tiết lưu và lưu lượng khí để duy trì áp suất làm việc cỡ 10⁻³～10⁻² mbar; cấp trước mà hụt thì van tiết lưu có chỉnh thế nào cũng không bù lại được). Vì vậy chọn kiểu không chỉ nhìn một con số tốc độ hút trên nhãn máy, mà phải đi theo bốn bước “danh mục điều kiện làm việc → tính toán hút sơ bộ → tính toán giai đoạn duy trì → cấu hình tổ bơm”.
1. Lập danh mục điều kiện làm việc trước, đừng vội xem mã hiệu
Nhu cầu chân không của dây chuyền phủ màng nhìn qua đều là “hút đến chân không cao”, nhưng khác biệt thực tế nằm cả trong bảng này. Trước khi bàn chọn kiểu, hãy điền rõ tám mục dưới đây; nếu tám mục mà trống từ hai mục trở lên thì cấu hình chọn ra cơ bản là đoán.
| Mục điều kiện làm việc | Cần điền gì | Vì sao ảnh hưởng trực tiếp đến tốc độ hút |
|---|---|---|
| Thể tích buồng | Thể tích thực của buồng trống, gồm cả vị trí chiếm chỗ của đồ gá và phôi | Thời gian hút tỷ lệ thuận với thể tích; thể tích tính nhỏ đi một nửa thì thời gian cũng tính thiếu đi một nửa |
| Thời gian hút sơ bộ mỗi lô | Số giây từ áp suất thường đến áp suất chuyển giao mà quy trình cho phép | Chỉ tiêu cứng của nhịp độ, suy ngược ra tốc độ hút hiệu dụng tối thiểu cần có |
| Áp suất chuyển giao | Điểm áp suất mà bơm cơ khí bàn giao cho bơm chân không cao | Thường ở cỡ 5～20 mbar; điểm áp suất càng thấp càng ăn tốc độ hút |
| Áp suất làm việc của quy trình | Áp suất duy trì ở đoạn phún xạ và loại khí | Quyết định tải khí ở giai đoạn duy trì, là một khoản tính khác với giai đoạn hút sơ bộ |
| Lưu lượng khí quy trình | Số sccm của khí làm việc như argon | Quy đổi trực tiếp thành tải |
Bài viết liên quan
- Lựa chọn bơm chân không cho dây chuyền đóng gói thực phẩm bằng chân không: V0040A và các mã khác tính theo bốn hạng mục độ chân không, tốc độ hút, môi chất, phương thức vận hành
- Lựa chọn bơm chân không cánh trượt kín dầu DPL-V0100: đối chiếu môi chất có thể ngưng tụ, bụi và ăn mòn
- Lựa chọn bơm chân không 200–700 m³/h: đường kính cổng kết nối và phối hợp công suất
- Products
- Máy tính chọn bơm chân không: quy đổi thời gian hút và tốc độ hút
- Câu hỏi thường gặp về máy bơm chân không: chọn model, bảo trì và báo giá